March, 5, 2015, Milpitas―KLA-Tencor Corporationは、16nm以下のICデバイスの開発および量産をサポートする2つの高度な計測装置、Archer 500LCMとSpectraFilm LD10を発表した。 　Archer 500LCMオーバーレイ計測装置は、歩留まり改善のあらゆる段階を通してオーバーレイ誤差の正確なフィードバックを提供することで、半導体メーカが、マルチパターニングやスペーサピッチ分割などの新規パターン形成手法に関連するオーバーレイの問題解決を支援する。SpectraFilm LD10