All about Photonics

ヘッドライン

KLA-Tencor、5Dパターンコントロールソリューションを拡張

f6bb6d8e-0956-425d-a4ac-efee5627ab9b.HR March, 5, 2015, Milpitas―KLA-Tencor Corporationは、16nm以下のICデバイスの開発および量産をサポートする2つの高度な計測装置、Archer 500LCMとSpectraFilm LD10を発表した。  Archer 500LCMオーバーレイ計測装置は、歩留まり改善のあらゆる段階を通してオーバーレイ誤差の正確なフィードバックを提供することで、半導体メーカが、マルチパターニングやスペーサピッチ分割などの新規パターン形成手法に関連するオーバーレイの問題解決を支援する。SpectraFilm LD10

全文

光産業技術マンスリーセミナー11/18開催(車載光ファイバネットワークの現状と動向)--PR--

新製品

SAGA-HP

ランプ励起ハイパワーパルスレーザーSAGA HP(サガエイチ・ピー)

掲載日:2014/8/1

フランス、タレスオプトロニック社は高エネルギー、ランプ励起Nd:YAGレーザー「SAGA(サガ)HP」をリリースした。SAGA HPは旧SAGAシリーズの532nmモデルで、繰り返しは5-10Hz、パ

全文