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新製品 詳細

超精密切断加工向け、高信頼性の産業用UVフェムト秒レーザ

June, 28, 2019--産業用フェムト秒レーザMonacoシリーズに、UV発振モデルが新たに加わった。
Monaco UVは、従来に比べ3倍以上もHAZの少ない優れた加工結果を実現しつつ、産業用途に求められる高い信頼性を同時に実現した、最初の産業用UV発振フェムト秒レーザである。優れた信頼性に加え、広く使われる材料において最適なアブレーションレート閾値を実現できるようパルスエネルギーと繰返周波数の最適な組み合わせ(20µJ/pulse@1.25MHz)を実現するよう設計された新製品である。
OLEDの切断やウエハ切断、ポリマー薄膜や箔の切断、フレックス回路やlow-kなどの材料加工に適している。

●波長: 345nm
●出力: >25W
●パルスエネルギー: >20uJ@1.25MHz
●パルス幅: >350fs
●繰返周波数: >2MHz

コヒレント・ジャパン株式会社
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