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新製品 詳細

最先端のパルスコントロール技術搭載、ピコ秒レーザ新プラットフォーム

HyperRapid NXT

June, 28, 2019--HyperRapid NXTシリーズは、ピコ秒レーザ(パルス幅<15ps)HyperRapid NXの新プラットフォームで、パルスエネルギーを一定に保ったまま、外部トリガー信号と同期し発振が可能となる画期的なコヒレント社の技術PulseEQを採用している。
この高精度なトリガー制御(ジッター約25ns)と先進のパルスエネルギー制御により、最新のスキャナーやステージとの高速な同期が可能となり、高速微細加工装置へ組み込む際の容易性が飛躍的に高まる。

●出力/波長: ~30W@355nm
                     ~30W, 37uJ@2MHz@355nm(HRRモデル)
                     ~50W@532nm
                     ~100W@1064nm
●パルス幅: >15ps
●繰返周波数: シングルショット~最大4MHz
●最先端のパルスコントロール技術搭載

コヒレント・ジャパン株式会社
マーケティングコミュニケーション部
TEL:03-5635-8700