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新製品 詳細

高出力産業用ナノ秒レーザ

March, 21, 2017--コヒレント社は、主力製品のひとつである産業用ナノ秒レーザAVIA NXシリーズに新たにUV(355nm)およびグリーン(532nm)発振の高出力モデルを追加した。新モデルでは、マイクロエレクトロニクスや太陽電池などの製造分野での微細加工アプリケーションで求められるパフォーマンスの向上が実現している。特に、AVIA NX 355-55は高繰返周波数(150kHz)を実現しながら、波長355nmで平均出力55Wを可能としている。そしてAVIA NX 532-80は、非常に高い1mJものパルスエネルギーが可能で、最大繰返周波数80kHz、平均出力80Wもあわせて実現している。
 VIA NXレーザは、小型で堅牢なYVO4レーザで、その優れたパフォーマンスは多くの微細加工アプリケーシ ョンで定評がある。またAVIA NXシリーズは、高加速寿命試験(HALT)によって故障原因を見つけ出し、設計・製造段階から繰返し実施し最適化することで、信頼性と長寿命を実現している。加えて、出荷前の全てのユニットに対して、加速ストレス性能試験(HASS)を実施している。同社は、製品を届ける前に製品に起こりうるあらゆる信頼性に関する問題を見つけ出し、取り除くため、これらの厳しいHALT/HASSストレス試験をレ ーザ業界で唯一採用し、信頼性を高めている。

《連絡先》
コヒレント・ジャパン株式会社 営業部
TEL:03-5635-8700
E-mail: sales.tokyo@coherent.com