卓上型EUV光源

January, 23, 2017--日本レーザーは、米KMLabs 社の超高速光源の取り扱いを開始した。
　KMLabs 社では、クリーンでシャープな超短パルスを出力する、他に類の無い超高性能な超高速光源を製造している。レーザ媒体にはチタンサファイアだけでなく、Yb添加結晶、ファイバ、非線形結晶を用い、また種々の特許技術により、これまでにないパワースケーリングと高い性能をもつ次世代超高速ソリューションを提供する。さらに高次高調波発生についても特許を有し、超高速光パルスを導波路でEUV やXUV に変換できる。

《連絡先》
（株）日本レーザー
電話番号：03-5285-0863