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ALD成膜装置

September, 6, 2016--MEMSデバイスの生産において近年特に重要視されている成膜技術、ALD(アトミックレイヤーデポジション)成膜装置を紹介。ALDは既存のPVD,CVD、蒸着等の成膜技術よりいくつかの点で優れているため、急速に市場に浸透してきている。それは段差被覆性に優れており、膜厚が1原子層レベルで制御でき、膜厚分布が良く、バリア性が高く膜質が良く、低温(e.g.100℃)でも成膜できるなどである。
 PICOSUN JAPANはALD専業装置メーカーであるフィンランドPicosun社の日本法人。ラインナップは研究開発用から量産機、クラスター装置等幅広く、デバイス開発のサポートから量産まで幅広く対応している。

PICOSUN JAPAN(株)
TEL:03-6431-9500
ブース番号:L-7