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新製品 詳細

シリコン深掘り装置“DPX-Predeus”

MPX-Ⅱ+MACS-Ⅱ_PEG_2ch(Low)

September, 6, 2016--「Predeus(プレデウス)」は新プラズマ源を搭載した最新鋭機。
MEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)のトップメーカとして、取扱装置に関する最新技術だけでなく、トリリオンセンサ社会で必要とされるミニマル装置から300mmウエハ対応装置を提案している。

SPPテクノロジーズ(株)
TEL: 06-6489-5997
ブース番号:C-6