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ギガフォトン、92 WのEUV光源出力を発光効率4.2%で達成

July, 2, 2014, Oyama--リソグラフィ光源の主要メーカー、ギガフォトンは、現在開発中のEUVスキャナ用レーザ生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプにおいて、最大出力92Wを発光効率(CE)4.2%で達成することに成功した。
 今回のEUV発光は、Snターゲット(すずのドロップレット)に対して、固体プリパルスレーザと炭酸ガス(CO2)レーザを組み合わせて最適化し照射することによって達成された。今後、同社では量産対応EUVスキャナの実現に向けて、2014年末までに150Wの出力、最終的には250Wを目指し更なる研究開発に取り組んでいる。
 この最大出力92Wを達成した独自技術によるプロトタイプLPP光源は、20µmのすず(Sn)ドロップレットを、固体レーザによるプリパルスとCO2レーザによるメインパルスで照射することでEUVを発光させ、また、高出力な超電導磁石とH2ガスを用いたSnエッチングを組み合わせることで、照射によるSnデブリの発生を抑制している。
 また、コレクターミラーの寿命を最大限に延ばすために、超伝導磁石で強力な磁場を発生させ、すずドロップレットの熱膨張から発生する不要なデブリを、スズキャッチャーへ導いて除去する。
 ギガフォトン代表取締役社長兼CEOである都丸仁氏は、「このEUV光源出力92Wの達成は、市場が要求する高出力、低ランニングコストで安定稼働が可能なLPP光源の実現に向けて、ユニークな技術開発を着実に進めてきた成果だ。ギガフォトンの高度な技術力と量産に向けたLPP光源の開発努力が、この量産用EUVリソグラフィスキャナの開発を加速し、次世代露光技術としてのEUVスキャナ導入の機運を一層高めるものと確信している」とコメントしている。