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EV Group とSCHOTT、AR/MRガラス向け300mmナノインプリント

September, 4, 2019, Florian--MEMS、ナノテクノロジー、半導体市場にウエファボンディングやリソグラフィ装置を供給しているEV Group (EVG)は、SCHOTTとの提携を発表した。これは、次世代AR/MRヘッドセット向け導波路製造で使用される高屈折率(HRI)ガラスウエファの大量パタンニング用に300-㎜ナノインプリントリソグラフィ(NIL)の準備ができていることを示すためである。
 SCHOTTは、特殊ガラスやガラスセラミックスの分野で世界最先端技術グループの一つ。

この提携は、EVG独自のSmartNILプロセスとSCHOTT RealView高屈折率ガラスウエファに関与するものであり、オーストリアEVG本社にあるNILPhotonics CompetenceCenter内で実施される。SCHOTTは、EVGのSmartNIL技術でパターン化された300-㎜ SCHOTT RealViewガラスウエファを深圳コンベンションセンタで開催されるChina International Optoelectronic Expo (CIOE)で展示する(9月4-7)。

「HRIガラスウエファの製造を300-㎜に拡大することは、規模の経済での量産達成にとって重要である。これは、顧客が今日の、また将来の先進的AR/MRデバイスに向けた市場の需要に応える必要があるからだ」とSCHOTTのAR担当長、Dr. Ruediger Sprengardはコメントしている。

これまで、ガラス基板にフォトニクスアプリケーション向け構造をパタン化するNIL利用は200-㎜基板に限られていた。300-㎜ウエファ処理に移行することは、AR/MRヘッドセットを大衆消費市場、産業市場に持ち込む上で重要な前進である。しかし、この大型基板で高い基板品質とプロセス均一性を維持することは、制御が難しく、最先端のオートメーションとプロセスコントロール機能が必要になる。EVGのSmartNIL技術は、長年のR&Dとナノパタニングニーズに対処する現場経験の成果である。また、ダイレベルサンプルサイズから大面積基板まで容易に拡張する実績がある。この6月にEVGは、HERCULES NIL 300 mmを発表した。これはSmartNILを300-㎜製造にして、様々なデバイスやアプリケーションの製造ニーズをサポートするものである。ここには、AR、MR、VRヘッドセット用光デバイス、3Dセンサ、生体医用デバイス、ナノフォトニクスやプラズモニクスが含まれる。

SCHOTT RealView高屈折率ガラスウエファは、先進的なAR/MRデバイスの重要コンポーネントであり、量産提供されている。製品ポートフォリオは、1.9までの屈折率となっており、65°までの広い視野の深い没入AR/MRアプリケーションを可能にする。SCHOTTは、ARハードウエアメーカーと共同した長年のR&Dの後、初代SCHOTT RealViewを2018年に発表した。

(詳細は、https://www.evgroup.com/)