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McPherson, 入射角で反射率を測定するVUV-STSを発表

February, 7, 2017, Chelmsford--マクファーソン(McPherson)は、新しい真空紫外スペクトルテストシステム、VUV-STSを発表した。同システムは、入射角の関数として反射率を計測する。波長で光学性能を計測し、光学定数確定に役立つ。非偏向光計測に特殊技術を使用しており、30~160 nm波長で動作する。透過も計測可能であるが、この波長では多くの材料にとって透過は適切ではない。300 nmまで動作を拡張するオプションも存在する。
 McPhersonの新たな工夫は、材料、多層、コーティングの波長テストに役立つ。アプリケーションは、アト秒分光学、HHG、宇宙アプリケーション向け光学設計、波長キャリブレーション、薄膜/コーティング技術設計など。
 モノクロメータからの光は部分的に、また可変的に偏向していることが多い。深紫外(DUV)と真空UV波長は、偏向が存在するといつでも問題になる。ほとんどの研究室のポラライザ(偏光子)は、結晶波長透過に依存している。フッ化マグネシウムでできたエアスペースRochonプリズムポラライザの動作は、波長140nmまで。VUV-STSソリューションは、サンプルを2つの垂直入射面で計測し、それを平均化して反射率に対する特定偏向の影響を無効にする(Ip-Is)/(Ip+Is)。2つの面で計測することで、各々の相反する値を確かめることができる。こうして最終的に非偏向入射光の反射率が分かる。この技術は、反射、回折、透過サンプルに利用可能である。
 VUV-STSは、ウインドウレス中空陰極光源と効率的に組み合わせた1m長の斜め入射モノクロメータである。サンプルチャンバは、機械的剛性があり、広間隔で十分に支持されたベアリングにマウントされている。サンプルは、真空下2つの入射面で回転する。
(詳細は、www.mcphersoninc.com)