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ヘリオットワット大学とASML、提携

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March, 30, 2021, Eindhoven--ヘリオットワット大学は、ASMLと提携し、新しい光源技術の進歩を促進する。

ASMLが部分助成する5年提携で、John Travers教授の基礎物理学研究が加速され、新しいレーザ技術に向けてラボから市場への直線的ルートが生まれる。

提携は、産業界との提携および海外からの投資を先進的な学術研究に惹きつけるヘリオットワット大学の専門技術を証明している。

ASMLは、世界最先端の半導体リソグラフィ装置のメーカーである。オランダに拠点を置く同社は、光を使ってシリコンに微小パタンをプリントし、半導体チップの量産につなげる。印刷技術には精度が極めて重要となる。光学計測は、光を使って、必要とされる正確な計測を達成する。この分野の開発は、トップのチップメーカーが、より高性能で安価なチップを製造できるようにするものである。

それぞれマルチミリオンの価値ある装置であるので、ASMLは、その技術を取り入れるために、新しい方向を継続して探求することが重要にある。

提携は、ヘリオットワット大学における新たな研究室となっており、これは基礎物理学研究の産業化を加速させるものである。同教授の現在の焦点は、光学計測向けの新しい高帯域光源である。ASMLの装置のセンサは、複数の波長で動作しなければならない。それらが、多様な材料に直面し、その各々が異なる方法で吸収するからである。

Travers教授のチームは、すでに特許化されている複数の考えを提供している。

Travers教授は、「最近の研究で利用されるこの種の光コンポーネントは、以前は、基礎物理学研究の範囲にあった。ASMLと密接に協力することは、この技術の産業化の方向へ、われわれの研究を急速に移行させる。そこでは、われわれは、特殊なエンジニアリング課題に対処し、実世界に影響を与えるように技術を適用していく。

光源技術における進歩のアプリケーションは、半導体チップ製造に限られるものではない。ヘルスケア技術や精密製造の技術にも価値ある用途が存在する。

ASMLの開発・エンジニアリングVP、Hein Otto Folkertsは、「ASMLは学界との密接な提携で長い伝統を持っている。Travers教授およびヘリオットワット大学との提携は、ASMLの研究課題を補完し、われわれの技術ロードマップをサポートするものである。ヘリオットワットのこのグループは、この種の光源に取り組んでいる世界有数のグープの一つであり、イノベーションの実績がある」と話している。

Heriot-Watt University、Chief Entrepreneurial Executive、David Richardsonは、「Travers教授とそのチームの研究は、光源とセンサ技術の進歩にとって極めて重要である。この種の提携を通じて、ヘリオットワット大学は学問分野と産業パートナーおよび世界的コミュニティとの間の結びつきを拡大することができる。

「産業界のリーダーは、複雑な技術的問題を大学のスペシャリストに持込み、彼らが必要とする研究、方向性、エンジニアリングワークについて提携する価値をますます認識するようになってきている。研究知見のラボから市場への移行を促進することで、ヘリオットワットはR&D資金の機会を生み出し、スコットランドへの国内投資を惹きつけ、同国の評判向上に寄与する」と話している。
(詳細は、https://www.hw.ac.uk)