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OIPT、HLJにVCSEL製造用プラズマエッチ&デプシステム供給

October, 28, 2019, Hsin Chu--Oxford Instruments Plasma Technology(OIPT)は、台湾のHLJ Technology Co. Ltd.が6インチVCSELウエハ製造クラスタプラットフォームに、Oxford Instruments Inductively Coupled Plasma (ICP)のエッチ、Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)システムを選択したと発表した。
 HLJは、国際的評価の高い、台湾のVCSEL製造パイオニアである。先頃、HLJは、6インチVCSELウエハの量産ラインを構築した。効率を強化し、製造リードタイム、製造能力と品質の制御性を促進することが目的。社内ラインは、エピタキシャル設計、成長、ウエハプロセスおよび信頼性試験を組み込んでいる。HLIは、世界のユーザーにワンストップVCSELデバイスショッピングサービスの提供に取り組んでいる。
 Cobra ICPとPECVDプロセスソリューションは、VCSELsなど最先端のデバイス製造をサポートするように設計されている。

(詳細は、https://www.oxinst.com/)