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微細構造制御を可能にするピコデオンのPLD技術

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March, 26, 2014, Ii--フィンランドの薄膜被覆専業ピコデオン(Picodeon Ltd Oy)は、多孔質コーティング、緻密アルミナ(Al2O3)コーティングのいずれかができる超短パルスレーザ蒸着(USPLD)表面被覆技術を開発した。コーティングは、幅広い産業用メタライズアプリケーションで使う感熱基板をターゲットとしたもの。
 多孔質Al2O3層は、例えばフィルタや電気絶縁に使用される。緻密Al2O3は障壁層として使われ、高透過率特性を持つ優れた光学被覆でもある。
 ピコデオンの工程は、Al2O3コーティングの微細構造の高精度制御、したがってコーティング特性の高精度制御を可能にする。Coldab Series4 USPLDバッチプロセスコーティング装置では、コーティング工程パラメータの管理およびメンテナンスは容易になっている。
 ピコデオン販売・事業開発担当VP、Marko Mylläri氏によると、現在の物理的気相成長法(PVD)、スパッタリング、あるいは化学的気相成長法(CVD)表面被覆(コーティング)技術では、ピコデオンの装置を使用した場合と同等の結果を得るのは極めて困難である。
 Coldab Series4装置は、オンラインプラズマモニタリングおよびレーザパワー計測を組み込んでおり、コーティング工程パラメータの高精度管理が可能になっている。また、コーティング工程をPC制御で自動的に記録することができる。
 これらのシステムが提供する計測基準は、コーティング工程、特に薄膜の品質を高精度にコントロールでき、高い目標パラメータでのコーティング特性が達成できることを示している。テスト製造運転では、スキャニング速度とレーザパワー繰り返しレートを調整することでこのシステムが3μm Al2O3コーティングの多孔性を、例えば10%から45%まで改善できることを示した。
 Al2O3コーティングは、感熱ポリエチレン(PE)および熱可塑性ポリウレタン樹脂(TPU)ポリマ薄膜基板に適用された。Picodeon Coldab USPLDシステムを用いて、表面被覆に必要な低温工程によってこれが可能になった。