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次世代EUV開発を目的にASMLがZEISSの少数株式取得

November, 15, 2016, Veldhoven/Oberkochen--ASML Holding NVはカールツァイスAGの子会社Carl Zeiss SMTの24.9%少数株を現金10億ユーロで買収した。
 契約の主目的は、次の10年の最初の数年に予定されている将来世代EUVリソグラフィシステム開発促進。この技術により半導体産業は、より低コストで遥かに高性能のマイクロチップを製造できるようになる。
 ASMLは、マイクロチップメーカーが利用する半導体パタニング製品とサービスのサプライヤ。カールツァイスSMTは、ASMLの半導体リソグラフィスキャナのサブシステムにハイパフォーマンスオプティクスを供給する、ASMLの最重要戦略パートナー。将来世代のEUV用に全く新しい光学システムを開発するために必要となる投資の新規サイクルは、両社の提携をさらに進めるための契機となる。
 ASMLの社長/CEO、Peter Wennink氏は、「2018年、現行技術EUVスキャナで作製された最初のチップが、われわれの顧客の製造ラインから出てくる。まだ改善を続けているとはいえ、成功した液浸スキャナと組み合わせ、量産製造にEUVを確実に導入するために多くの作業がまだ行われている。しかしASMLとZEISSは、この重要な成果の先を見ている。われわれは最先端のチップ製造におけるEUVリソグラフィが長期的に成功を収める未来を見ている。今回の契約により、ASMLとカールツァイスSMTによる次世代EUVの開発のための最適な条件を整えた。目的とするところは、われわれの顧客が次の10年の終わりまでEUV投資の成果を刈り取れることである」とコメントしている。
(詳細は、www.asml.com)