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新製品 詳細

高輝度の垂直構造型LED製造に最適なレーザリフトオフ

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December, 11, 2015--株式会社ディスコは、従来と比較し、装置メンテナンス時間の削減と、加工品質の安定化を実現したディスコ独自のレーザリフトオフ(LLO)を開発した。これにより高輝度の垂直構造型LED(V-LED)の、高歩留まり・低ランニングコストでの生産に貢献する他、今後進展する各種デバイスの極薄・極小化に対応するチップ分割(ダイシング)を可能にする。

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株式会社ディスコ
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