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露光機専用365 nm UV-LED NS365L-9RXT発売

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June, 2, 2020, 鳴門市--Nitride Semiconductors Co Ltdは、1チップで高出力を実現し、露光機用光源に最適なUV-LED NS365L-9RXTを開発した。
 半導体の露光機には水銀を含むUVランプが使用されているが、待機時間が長い、寿命が短い、UV照度の安定性が低い、オンオフによる制御ができないといった機能面での制約に加えて、国連環境計画 水俣条約により、環境問題からも半導体(LED)光源への切り替えが進むことが期待されている。

露光機専用UV-LED NS365L-9RXTの特徴
①高効率大出力UV-LEDチップを採用し、省エネ、長寿命
高効率、省エネ、長寿命な波長365nmUV-LEDチップを採用、UV出力3.2W(If:3A、Vf:4.6V)の大パワーを発揮。
②半導体露光に適した狭い指向角
正確な露光を行うためには、平行光が必要だが、一般的にUV-LED光源は指向角が広く(約120°)、露光用に取り込む光量が不足する傾向があった。
 新製品は、予め深いリフレクターに紫外線透過率の高いレンズを組み合わせることで、指向角15°以下を実現した。
③コンパクト
縦9mm×横9mm×高さ8.5mmと大変コンパクトなので、実装密度を高めることができる。
④安価
量産1万個あたりの単価は約5千円と大変リーズナブル。

用途
半導体、PCB等の露光機用の光源としての使用を想定。

(詳細は、http://www.nitride.co.jp)