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Asahi Kasei、DUV LED商用生産開始に向けAIXTRON CCSを発注

August, 11, 2015, Aachen--AIXTRON SEによると、日本の化学会社、Asahi Kasei(旭化成)は、AlGaNベースDUV LEDパイロット生産用にAIXTRON CCS(Close Coupled Showerhead)システムを発注した。同システムは、2015年第3四半期に引き渡しされる予定。
 旭化成のDUV LED生産用AIXTRONシャワーヘッド(Showerhead)リアクタ購入決定は、すでに稼働しているMOCVD装置の有意義な経験をベスにしている、とAIXTRONは説明している。実績十分なAIXTRON CCS技術を旭化成は再び選択した。同技術では、追加の動的高さ調整により高圧と低圧の両状態に対してチャンバ形状を最適化ができる。
 AIXTRONのCOO/エグゼキュティブVP、Dr. Bernd Schulteは、「当社のMOCVD装置では、パイロット生産もR&Dアプリケーションも可能である。プロセスは、より大きなシステムへ直接拡張できる。信頼性の高い3-ゾーンヒーターで強化されたシステムは、優れた温度均一性も提供する。これにより旭化成は、柔軟で高品質の装置を手に入れることになる。これは、DUV LEDのような新しいアプリケーション分野向けで、高品質堆積システムに対する増え続ける要求に完全に合致している」とコメントしている。
 ハイパフォーマンスDUV LEDは、様々なアプリケーションで浄化や殺菌に使用される。これには、産業およびフィールドでの浄水が含まれる。DUV LEDは、水、空気、表面および生物学的サンプルの純度計測のための科学、工業計器でも使用される。
(詳細は、www.aixtron.com)