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新製品 詳細

高性能平面位置決め用 低価格X-Y ボールスクリューステージ

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April, 18, 2014--エアロテックは、表面計測から自動制御に至るまでの高精度アプリケーション用として X-Y ボールスクリュー ステージを発表した。この新製品 PlanarSL は、超高速性・高精度性は必要としないアプリケーション向けとして最近発表されたPlanarDL の低価格のオプションである。

アプリケーション例:
• エレクトロニクス製造
• テスト& 検査
• 計測
• 自動制御
• ナノ技術
• レーザー加工
• 金属検査
• マイクロマシニング
• 半導体製造
• 医療
• 研究室

低プロフィール機械ベアリングステージは、コンパクトなパッケージに2軸移動が収められている。精密研磨されプリロードされたボールスクリューは、摩擦と剛性の中心を通じて直接駆動するよう設計されており、その結果、優れた幾何性能と精度が得られた。
高精密線形運動ガイドベアリングにより、XY移動の全域にわたり移動台を最適に支持しており、直線性と平坦性が実現。構造要素は最高の平面性能を発揮するよう最適化されている。
標準装備の24 VDC バイポーラーステッピングモーターに加え、オプションとして、エアロテックコントロール用に事前設定された高分解能回転エンコーダー付きのブラシレスおよびブラシDCモーターがある。
PlanarSL は、両軸に低熱膨張 (3.3 ppm/˚C) 精密ガラス線形エンコーダー目盛りが付いており、長期間にわたり高精密かつ反復性のある位置決めが可能である。

エアロテック
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