MPO100､3Dリソグラフィと3DマイクロプリンティングMulti-User Tool

March, 3, 2022, Heidelberg/Würzburg--SPIE Photonics Westで､Heidelberg Instrumentsは､新しい2光子重合化 MPO 100を初めて紹介した｡これは､マルチユーザツールで､解像度100nm範囲の3Dリソグラフィおよび1㎝超の構造高さ3Dマイクロプリンティング要求を一つのデバイスに統合している｡
　”1 – 10 – 100 – 1000″ –達成できるコンポーネントの高さは1㎝超､表面粗さは10nmオーダー､構造サイズは100nm以下､書込速度は1000㎜/s｡

｢MPO100は､類例のないマイクロファブリケーション向けツールであり､積層造形プロセスの中では最高解像度100nmを達成してる｡さらに､MPO100の1-10-100-1000機能により､大学､R&D研究所､産業のユーザは､マイクロオプティクス､マイクロフルイディクス､生体医学などの領域の新開発に大きなメリットがある｣と､MPO100を開発したHeidelberg Instrumentsの子会社､Multiphoton Optics GmbHのDr. Benedikt Stenderは､コメントしている｡

MPO100は､一般的なフォトレジストの3D構造化に最適なグリーンスペクトル域のレーザ波長で機能する｡さらに､MPO100は､ハイブリッドポリマ(ORMOCERs)利用に最適化されている｡これは､多様なアプリケーションには特に重要である｡構造品質最大化のための高度なアルゴリズムに加えて､同期スキャニグシステムは､スティッチングフリーパタニングの可能性を提供している｡加えて､MPO100は､現在､フローボックスを備えた市場で唯一のツールである｡これにより0.1℃までの温度安定性が保証され､大規模露光に必要な安定性が得られる｡アプリケーションに特化したライティングモードにより､顧客仕様のプリンティング要求が可能になり､マルチユーザツールとしのMPO100を際立たせる｡

Heidelberg InstrumentsのCOO､Steffen Diezは､｢MPO100により､われわれは両社の強みを一つのシステムに統合した､Multiphoton Opticsの2光子重合化向けの高度な露光ユニットとHeidelberg Instrumentsの産業プラットフォームの統合である｡これは､必要とされる安定性を保証し､必要な業界基準を満たす｡MPO100の能力は､すでにわれわれの顧客に広く知られている｡われわれのサービス組織からの世界的なサポート､ISO認定製造から恩恵を受けている顧客である｣と話している｡

(詳細は､https://heidelberg-instruments.com)