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MPO100、3Dリソグラフィと3DマイクロプリンティングMulti-User Tool

March, 3, 2022, Heidelberg/Würzburg--SPIE Photonics Westで、Heidelberg Instrumentsは、新しい2光子重合化 MPO 100を初めて紹介した。これは、マルチユーザツールで、解像度100nm範囲の3Dリソグラフィおよび1㎝超の構造高さ3Dマイクロプリンティング要求を一つのデバイスに統合している。
 ”1 – 10 – 100 – 1000″ –達成できるコンポーネントの高さは1㎝超、表面粗さは10nmオーダー、構造サイズは100nm以下、書込速度は1000㎜/s。

「MPO100は、類例のないマイクロファブリケーション向けツールであり、積層造形プロセスの中では最高解像度100nmを達成してる。さらに、MPO100の1-10-100-1000機能により、大学、R&D研究所、産業のユーザは、マイクロオプティクス、マイクロフルイディクス、生体医学などの領域の新開発に大きなメリットがある」と、MPO100を開発したHeidelberg Instrumentsの子会社、Multiphoton Optics GmbHのDr. Benedikt Stenderは、コメントしている。

MPO100は、一般的なフォトレジストの3D構造化に最適なグリーンスペクトル域のレーザ波長で機能する。さらに、MPO100は、ハイブリッドポリマ(ORMOCERs)利用に最適化されている。これは、多様なアプリケーションには特に重要である。構造品質最大化のための高度なアルゴリズムに加えて、同期スキャニグシステムは、スティッチングフリーパタニングの可能性を提供している。加えて、MPO100は、現在、フローボックスを備えた市場で唯一のツールである。これにより0.1℃までの温度安定性が保証され、大規模露光に必要な安定性が得られる。アプリケーションに特化したライティングモードにより、顧客仕様のプリンティング要求が可能になり、マルチユーザツールとしのMPO100を際立たせる。

Heidelberg InstrumentsのCOO、Steffen Diezは、「MPO100により、われわれは両社の強みを一つのシステムに統合した、Multiphoton Opticsの2光子重合化向けの高度な露光ユニットとHeidelberg Instrumentsの産業プラットフォームの統合である。これは、必要とされる安定性を保証し、必要な業界基準を満たす。MPO100の能力は、すでにわれわれの顧客に広く知られている。われわれのサービス組織からの世界的なサポート、ISO認定製造から恩恵を受けている顧客である」と話している。

(詳細は、https://heidelberg-instruments.com)