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プラズマサーム、ナノプラスフランスからプラズマ加工技術を買収

November, 10, 2015, St. Petersburg--プラズマサーム(Plasma-Therm)は、画期的なHigh Density Radical Flux(HDRF)プラズマ技術を買収した。これにより低温Boschポリマ除去が可能になる。
 HDRFは、ナノプラスフランス(Nanoplas France)が、フォトレジストや有機ポリマ残渣を低温で除去するための優れたプラズマプロセスとして開発した。こうした機能は、MEMS、LED、先端パッケージング市場におけるデバイス製造段階で特に重要になる。
 プラズマサームは、HDRFの技術を一連の既存プラズマエッチング、デポジション、ウエファダイシング製品に統合していく。ナノプラスが開発したHDRF低温フォトレジスト除去機能は、DRIE加工後のボッシュポリマ除去にも適用できる。
 プラズマサームのマーケティング担当、Ed Ostan氏は、「HDRFは当社のエッチングおよびデポジション製品ラインに適合する。これによってプラズマサームは、R&Dおよび製造向け両方に向けた特殊デバイスメーカーに多段ソリューションを提供できるようになるからだ」とコメントしている。
 プラズマサームは、ナノプラス顧客のサポートを継続する。ナノプラスの設置システムは、主にDSB6000とDSB9000 HDRFシステムで構成されている。
 HDRFによってフォトレジストだけでなく、DRIEプロセス後のトレンチ側壁に残った有機ポリマの除去も可能になる。こうしたアプリケーションは、先端パッケージング、MEMS、パワーデバイスで必要とされている。
 HDRFシステムは、マルチゾーン、リモート、誘導結合プラズマ(ICP)ソースを備えている。これは、従来のICPソースと比べて化学濃度を1000倍にすることができる。
 HDRFは、ウエット加工、標準プラズマ加工と比べると、選択性、低損失、柔軟性、高アスペクト比効率の点で優れている。
(詳細は、www.plasmatherm.com)