波⾧532NM、光出力80W の超低ノイズ・高出力レーザーシステムの実証

本稿では波⾧532nmにおいて80Wの光出力を実現した先進的な超低ノイズ・高出力レーザーのデモ実証を紹介する。このシステムは、精密に設計されたコンポーネントと独自開発のノイズ抑制技術により、10 Hzから10 MHzの周波数範囲で0.02 % rms以下のRINノイズレベルを達成している。このシステムは、周波数ノイズ密度（FND）が極めて低いDL proレーザーをシード光とし、1064nmで最大130Wの出力を提供する高性能ファイバーアンプ、532nmへの効率的な変換のための共振周波数ダブリングステージで構成されている。このシステムの用途として、チタンサファイアレーザーの励起や、安定性・超低ノイズ・高出力のレーザーが求められる高度な半導体検査システムへの応用が挙げられる。