産業用超短パルスレーザによる超精密加工

半導体マイクロエレクトロニクス製造、ディスプレイ装置、医療機器装置製造を始めとする多くの産業界では、より高精度の加工技術が益々脚光を浴びています。特にこれは、これまで、多くの精密加工アプリケーションでは、ナノ秒パルスレーザあるいはUV(紫外光)レーザ、あるいはその両方の技術を用いたレーザが利用されてきました。しかし、これまでの光源では、要求度の高い新たなアプリケーションレベルには必ずしも対応できなくなっています。その結果、一部のアプリケーションでは、これらの課題に対応するため、超短パルス（ピコ秒あるいはフェムト秒）レーザが導入され始めています。ここでは、超短パルスを用いた加工技術の利点に焦点を当てるとともに代表的なアプリケーションを紹介します。