波長193nmエキシマレーザによる、 バイオポリマーのアブレーション加工
最近、深部組織へのレーザ照射による新しい医療施術などに用いる、生分解性ファイバや光導波などの部品製造の一環として、バイオポリマーを用いた基板やフィルムへの精密微細加工やパターニングに対する関心が非常に高まっている。しかし、バイオポリマー材料は、熱に弱いため、その微細構造の作製は容易ではない。本稿では、コヒレント社の発振波長193nmエキシマレーザによる、キトサンポリマーの微細構造の作製結果を紹介する。
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