レーザーを使用した 高精度の粒子カウント

粒子測定は、サンプル中の粒子をカウントおよびサイジングするプロセスであり、大気または液体のいずれかで実行される。この技術は、高い流体純度が必要であり、粒子状汚染物質の存在が製品の廃棄物やシステムの損傷 につながる可能性がある半導体ウェーハ製造などの工業プロセスで顕著に見られる。