深紫外(DUV)と可視スペクトルにわたって高反射率が得られる「TECHSPEC®紫外用非軸放物面ミラー」

July, 27, 2023--エドモンド・オプティクス・ジャパン（株）は、TECHSPEC®紫外用非軸放物面ミラーの販売を開始した。TECHSPEC®紫外用非軸放物面ミラーは、190–900nmまでに優れた透過率を実現するDUV反射強化アルミコーティングを採用し、散乱を最小化するためにアルミ基板をダイヤモンド切削加工して50Å未満のRMS表面粗さに仕上げた。標準的なインチサイズ直径で、25.4–203mmまでの範囲で複数の焦点距離オプションをラ インナップ 。DUVエリプソメーターやDUVラマン分光での使用、もしくは広帯域光源から発する UV光の一般的集光用に最適 。

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