Spectra-Physics🄬『IceFyre® FS IR200レーザー』

June, 29, 2023--Spectra-Physics🄬『IceFyre® FS IR200レーザー』は、赤外線(IR)の領域で500fs未満の超短パルスで200Wを超える出力、200μJを超えるパルスエネルギーを提供する産業用フェムト秒レーザーである。この新しいレーザーはシングルショットから50MHzまでの幅広い繰返し周波数、TimeShift™プログラマブルバーストモード動作、パルスオンデマンド(POD)および位置同期出力(PSO)トリガーにより、卓越したパフォーマンスと優れた柔軟性を実現する。IceFyre FS IR200は、先端エレクトロニクス、ディスプレイ、クリーンエネルギー、医療用デバイスに用いられる、ガラス、ポリマー、金属、サファイア、多結晶ダイヤモンドや様々な材料などにおいて要求の厳しい高速かつ高品質な微細加工など多くの産業用途に最適です。本製品の販売はスペクトラ・フィジックス株式会社が、日本国内にて販売する。
「新しいIceFyre FS IR200レーザーは、業界をリードする当社のIceFyre FSプラットフォームの重要な追加製品であり、並外れたパフォーマンス、多用途性、信頼性を赤外波長まで拡張する。」と、ヨーロッパのSpectra-Physicsレーザー担当ゼネラルマネージャーのJürgen Niederhoferは述べている。「新しいレーザーは、最も要求の厳しい高スループットの精密製造アプリケーション向けの微細加工においてMKSがリーダーシップを執る新たな重要な位置付けとなる。」
特許出願中のIceFyre FS IR200レーザーは、MKSの豊富な経験とフェムト秒レーザー技術に基づいて構築されており、IceFyre FSの各レーザーは厳しい環境認定テストをクリアし、高い信頼性と低い維持コストを実現する。完全に自動化され、コンピューター制御されたレーザーは、24/7運転においても出力、ビームパラメーター、およびビームポインティングにおいて並外れた安定性を示し、要求の厳しいアプリケーションに高精度と再現性を提供する。
レーザーのIt’s in the BoxTM設計は、レーザーとコントロールエレクトロニクス部分を一体化し簡便にインストールできるパッケージとなっている。

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■ 特徴
・最大>50W UVおよび>200W IRの最高平均出力
・最高品質の微細加工を実現するフェムト秒超短パルス
・優れたアブレーション効率での加工を引き出すTimeShiftプログラマブルバーストモード機能
・幅広い繰返し周波数
・正確なパルス制御のためのパルスオンデマンド(POD)および位置同期出力(PSO)トリガリング
・一貫性のあるIceFyre FSファミリー形状デザイン
・業界をリードするコストパフォーマンス
・”It’s in the Box”コンセプトによるコンパクト設計
・24/7運転を可能にする信頼性

■ 仕様
《出力仕様》
波長　1030±6nm
出力　>200W@1-50MHz
最大パルスエネルギー　>200μJ@1MHz
繰返し周波数シングルショット　-50MHz
パルス幅 (FWHM)　<500fs
パルスエネルギー安定性　<2%rms< br>
出力安定性 (ウォームアップ後)　<1%rms、8時間以上
空間モード　TEM₀₀(M²<1.3)
偏光　>100:1 (垂直)
ビーム径 (出射口にて)　5.0mm±0.5mm
ビーム拡がり角(全角)　<1mrad
ビーム位置安定性　<±25μrad/℃

■ アプリケーション
・ガラス加工
・OLED、AR/VR、micro LEDディスプレイ加工
・太陽電池スクライビング、穴あけ
・5G PCBの切断、穴あけ
・医療用デバイス加工
・ウェーハスクライビング、ダイシング
・セラミックス加工
・ファインメタル加工
・ポリマー切断

本製品に関するお問い合わせ
スペクトラ・フィジックス株式会社
営業部 TEL：03-3556-2709/06-4390-6770