キトン・フォトニクス社 213nm DUV QスイッチLD励起レーザー発売

June, 11, 2014--日本レーザーは、独国Xiton Photonics社（キトン・フォトニクス）のDUV Qスイッチ LD励起レーザー　モデルIMPRESS-213の販売を開始した。概算価格は約1570万円、初年度5台の販売を目指す。
IMPRESSシリーズは、高繰返し周波数のLD励起Qスイッチレーザーである。低メンテナンスで連続運転可能なシステムであるため、特に産業用途に好適である。従来は224nmのみであったが、新たに213nm, 150mW出力モデルが発売された。
本製品はTEM00, M2 < 1.6の高品質なビームプロファイルで、測量用途や半導体やディスプレイ・リペアなどの微細加工に最適である。またAr+レーザーの代替システムとしても使用できる短波長ビームで、直接描画用途では1μm未満のストラクチャにも対応できる。パルス幅は7ns未満。RS-232インタフェースによる完全PC制御が可能なほか、他の外部トリガーモードによるコントロールも可能である。 主な仕様 ・波長 213 nm ・平均出力 150 mW ・パルス幅 < 7 ns ・パルスエネルギー > 15μJ
・繰返し周波数 0.1～30 kHz
・M2 < 1.6 株式会社日本レーザー ☎03-5285-0863