レーザ加工装置搭載用、高速応答OEMパワーセンサー

June, 28, 2019--コヒレント社は、2019年6月24日、大面積で受光パワーの上限が高く、高速応答を可能としたレーザパワーセンサーの新製品PowerMax PRO OEMをリリースした。このPowerMax PRO OEMは、従来の半導体フォトダイオードや他のディテクタよりも優れた機能を実現し、プロセスウインドウの極めて狭いアプリケーションでの連続したインラインでのモニタリングに適している。
　特に、PowerMax PRO OEMは、コヒレント社が特許を取得した薄膜積層型のテクノロジーを採用し、フォトダイオードの高速応答性とサーモパイルの幅広い波長感度、広い測定エリアとダイナミックレンジ、高い耐損傷性の特長をあわせて実現している。
　これにより、精密な加工機にセンサーを搭載するために、アンプや光学アッテネータを必要とするフォトダイオードよりも、コストを抑え高いパフォーマンスを実現できる。
　PowerMaxの新モデルは、特にCO2レーザに有効で、広いパワーレンジに対応し、広い測定エリア（15 x 15 mm²)と広い波長範囲で高速な応答と正確性、低ノイズの計測を実現する。さらには、フォトダイオードと違い、光学アッテネータやアンプ、サーモクーラーなどの準備が要らない。
　またフォトダイオードで生じる応答ドリフトを防ぐことができる優れたコーティング技術により、UV波長の超短パルスレーザの計測にも適している。これらの特長により、PowerMax PRO OEMは、プロセスウインドウの極めて狭い精密加工システムへの組み込み用センサーとして最適な設計とソリューションといえる。
主に、美容医療用システムのほか、マイクロエレクトロニクス製造での穴あけや、太陽電池や医療用器具の製造などを行なう高精度な微細加工システム、コンバーティングや包装パッケージ分野における加工機などに最適な製品となっている。

コヒレント・ジャパン株式会社
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