シリコン深掘り装置“DPX-Predeus”

September, 6, 2016--「Predeus（プレデウス）」は新プラズマ源を搭載した最新鋭機。
MEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)のトップメーカとして、取扱装置に関する最新技術だけでなく、トリリオンセンサ社会で必要とされるミニマル装置から300mmウエハ対応装置を提案している。

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