ピエゾナノ位置決め装置

November, 27, 2015--エアロテック社は、超精密アプリケーション向けのXYピエゾナノ位置決め装置の新シリーズを発表した。同社のQNP-XYステージは、他製品に匹敵する大きさと移動距離を備えながらも位置決め装置に最高の共振振動数と剛性を提供している。これによりユーザ ーが厳密性を必要とするプロセスにおいても最高のスループットを達成することができる。このステージには、分解能0.15nm、線形度0.007%そして2nm反復性があり、顕微鏡から光学装置のアライメントに至るまでのアプリケーションの最も厳密な要件を満足させる。移動距離は100μmから600μmの範囲を実現する。QNPピエゾステージは、高速閉ループ応答に対する有限要素解析を用いて最適化された、摩擦のない精密フレキシャによりガイドされる。統合型XYパッケージによって、積層の高さと移動質量が最小化され、優秀な静的および動的多軸パフォーマンスが発揮される。エアロテックのQシリーズコントローラとドライブを組み合わせると、このステージはナノメートル以下の位置決め分解能と固定位置安定性、広い位置決めバンド幅を出すことができる。そしてこれらは、静電容量センサフィードバックおよび広範囲のソフトウエアオプションあり／なしで利用することが可能である。

エアロテック社
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