ガルバノスキャンヘッド

November, 26, 2015--独SCANLAB社のデジタルエンコーダ付ガルバノスキャンヘッドintelli SCANse®は、独自開発の低イナーシャエンコーダにより、<15μrad/K以下の低温度ドリフトと高速スキャニングを同時に実現したハイエンドガルバノスキャンヘッド。高速かつ精密微細加工が可能である。 　アプリケーションは各種微細加工、半導体加工、太陽電池パネル加工など。 Z軸可変レンズユニットを含む3Dスキャンニングシステム、オンザフライ加工システムなど、用途に合わせてコントローラ・ソフトウエアを含むシステム販売も可能。 株式会社スキャンソル
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