>80W UVハイブリッドファイバーレーザーを発表 [MKS|Spectra-Physics]

November, 17, 2021--高スループット、高精度微細加工製造に求められるプログラマブルパルス、高パルスエネルギーを備えた画期的なパフォーマンス

スペクトラ・フィジックス株式会社は、ハイブリッドファイバーレーザー、Quasarファミリーにこれまでよりさらに高出力、高パルスエネルギーUVを出力するSpectra-Physics®『Quasar®UV80レーザー』を発表しました。この新しいレーザーは、業界をリードする、80Wを超えるUV出力、400 μJを超えるパルスエネルギーを優れたシングルモードビーム品質で提供します。さらに最新のTimeShift機能はパルス形状をプログラマブルとし、パルス幅、パルス形状、繰返し周波数が調整可能、微細加工プロセスの最適化に威力を発揮します。Quasar UV80レーザーは、電子パッケージおよびコンポーネンツ、セラミックス、PCボード、半導体、ソーラーパネル、リチウムイオン電池、および軽量炭素繊維強化ポリマー（CFRP）部品のハイスループット製造のアプリケーションに最適です。

既に定評のあるQuasarレーザープラットフォームを採用した新しいQuasar UV80レーザーは、業界をリードするパフォーマンスを提供し、要求度の厳しい24時間年中無休のマイクロマシニングボリューム製造の幅広いアプリケーションにおいて、新たなプロセスを高スループット、高品質で可能にします。そして、マイクロマシニングアプリケーション向けUVおよびグリーンレーザーにおける更なるけん引役として業界をリードしていきます。

Quasar UV80レーザーのTimeShift機能は、<2〜> 100 nsの調整可能なパルス幅、シングルショットから3.5 MHzまでの調整可能な繰返し周波数、バーストモードおよびプログラム可能なパルス形状を提供します。また、Quasar UV80レーザーは、回折限界に近いシングルモードUVビームを出力します。レーザーのハイブリッドファイバーアーキテクチャは、最新のファイバーレーザー、パワーアンプ、特許取得済みの高調波テクノロジーの組み合わせにより、前例のないパフォーマンスを実現し、さらに長寿命のコンポーネントと最先端の製造プロセス技術を駆使、広範囲に渡る環境認定テストをクリア、それぞれのレーザーが高い信頼性を確保するために厳格なテストを受けています。

新しいSpectra-Physics Quasar UV80レーザーは、2022年1月25日〜27日にカリフォルニア州サンフランシスコのMoscone CenterにあるSPIE Photonics Westにて紹介を予定しています。デモについては、Spectra-Physicsブース＃927へお越しください。
詳細については、www.spectra-physics.com/Quasarをご参照ください。
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■ 特徴
・>80W UV (400μJ)または>60W UV (300μJ)
・>95Wグリーン (475μJ)または>75Wグリーン (375μJ)
・TimeShiftテクノロジー搭載
-広範囲の繰返し周波数において一定のパルス幅で出力
-パルス幅可変、パルス整形、パルス分割とバーストモード運転
・高繰返し周波数 (0-3.5MHz)による高速加工
・パルス分割とバーストモード運転
・重要なパフォーマンスのモニタリングと診断のためのデータログ

■ 仕様

■ アプリケーション
・ガラス切断、穴あけ
・PCB穴あけ、切断、ディパネリング
・HDI (High Density Interconnects)
・シリコン結晶化、シリコンウェーハダイシング
・Low K膜溝加工
・セラミック加工、LED加工、太陽電池加工
・ITOパターニング
・フォトリソグラフィー
・CFRPの切断、穴あけ
・薄膜平面電池切断
・MDMポリマーの穴あけ、スクライビング