Science/Research 詳細

EB膜の脱イオン水処理に基づいたブロードバンド反射防止レーザ膜

May, 14, 2021, 上海--中国科学院(CAS)上海オプティクス・ファインメカニクスの研究チームは、浴水処理電子ビームAl2O3膜に基づいた一種のブロードバンド反射防止(AR)膜を作製した。研究成果は、Optical Materials Expressに発表された。

勾配屈折率を持つブロードバンドAR膜は、多くのアプリケーションで広範に利用されている。研究者は、ブロードバンドARコーティングの作製に多くの方法を利用した、これはに多層ARコーティング、視射角堆積、生体模倣フォトニックナノ構造などが含まれる。しかし、これらの方法は、複雑な製造工程、高コスト、大規模実装困難などの要素で制約されている。

Al2O3膜は、高温水では化学的に不安定である。Al2O3膜は、勾配屈折率を持つランダムマイクロ構造に変化し、ブロードバンドAR特性は、高温浴水処理後に得られることが報告されている。

この研究では、チームは、電子ビーム蒸着を利用してAl2O3膜を堆積し、Al2O3膜マイクロ構造とAR特性について体系的に浴水処理時間の効果を調べた。

結果は、数分の90℃脱イオン水処理Al2O3膜が、350-1,100 nm波長範囲で優れたブロードバンドAR性能を持つことを示している。両面被覆サンプルの平均透過率は、350-1,100 nm波長範囲で約98.8%である。

遺伝的アルゴリズムによるフィッティング結果によると、Al2O3膜は、パラボラのような屈折率プロファイルを持つ。AR膜のレーザ誘起損傷閾値は、レーザ出の応用可能性を示している。

(詳細は、https://english.cas.cn)