EB膜の脱イオン水処理に基づいたブロードバンド反射防止レーザ膜

May, 14, 2021, 上海--中国科学院(CAS)上海オプティクス･ファインメカニクスの研究チームは､浴水処理電子ビームAl2O3膜に基づいた一種のブロードバンド反射防止(AR)膜を作製した｡研究成果は､Optical Materials Expressに発表された｡

勾配屈折率を持つブロードバンドAR膜は､多くのアプリケーションで広範に利用されている｡研究者は、ブロードバンドARコーティングの作製に多くの方法を利用した､これはに多層ARコーティング､視射角堆積､生体模倣フォトニックナノ構造などが含まれる｡しかし､これらの方法は､複雑な製造工程、高コスト､大規模実装困難などの要素で制約されている｡

Al2O3膜は､高温水では化学的に不安定である｡Al2O3膜は､勾配屈折率を持つランダムマイクロ構造に変化し､ブロードバンドAR特性は､高温浴水処理後に得られることが報告されている｡

この研究では､チームは､電子ビーム蒸着を利用してAl2O3膜を堆積し､Al2O3膜マイクロ構造とAR特性について体系的に浴水処理時間の効果を調べた｡

結果は､数分の90℃脱イオン水処理Al2O3膜が､350-1,100 nm波長範囲で優れたブロードバンドAR性能を持つことを示している｡両面被覆サンプルの平均透過率は､350-1,100 nm波長範囲で約98.8％である｡

遺伝的アルゴリズムによるフィッティング結果によると､Al2O3膜は､パラボラのような屈折率プロファイルを持つ｡AR膜のレーザ誘起損傷閾値は､レーザ出の応用可能性を示している｡

(詳細は､https://english.cas.cn)