A*STAR、チップスケールチューナブルレーザを開発

March, 17, 2014, Singapore--A*STARマイクロエレクトロニクス研究所(IME)と南洋理工大学(Nanyang Technological University)の研究チームは、MEMS技術で作製した業界最小の波長可変レーザのデモンストレーションを行った。
研究チームが実証したオン・チップ集積レーザは、1531.2nm～1579.5nmの可変範囲をもつチューナブルレーザで、MEMS技術で作製したものではこれまでに報告されたなかで最小サイズとなる。外部キャビティデザインをベースにしたMEMSチューナブルレーザと比較すると、この新しいレーザは結合効率を50％から75％以上に改善し、一段と合理化され量産しやすくなった加工工程を利用してチューナブルレンジを拡大している。
IMEの研究者、Dr. Cai Hongによると、このレーザはロッドレンズと3Dマイクロカプリングシステムのパラボラミラーを用いた、優れた集光機能を利用して広いチューニングレンジと小型形状の両方を実現した。「外部キャビティの波長可変レーザでは従来、チューニングレンジの広さは小型形状を犠牲にして成り立っている」と同氏は説明している。
NTU電子・電気工学、Liu Ai Qun教授は、「このプロトタイプは、1×1㎝のマイクロチップであり、市販のチューナブルレーザデバイスと比べて10倍小さく、製造も容易だ。決め手となる革新は、われわれのチューナブルレーザがMEMS技術を用いてマイクロチップに集積されていることだ、これは10年に及ぶシングルチップソリューションを堅実に研究してきたNTUのMEMS専門技術があって初めて可能になる」とコメントしている。
(詳細は、 www.a-star.edu.sg)