Enkris､フルカラーGaN製品を発表､
LEDウエハサイズ300㎜

April, 12, 2022, Suzhou--Enkris Semiconductorは､マイクロディスプレイ産業向けに､300㎜ウエハサイズ､同社の画期的なFull Color GaN RGBシリーズの製品を発表した｡
　GaN-on-Si LEDsは､Micro-LED技術向けに他の基板に成長された製品に対して､大きなウエハサイズ(200㎜-300㎜)､優れた表面品質に関して優位性がある｡さらに､200㎜/300㎜ FABsで最先端のSi加工という利点を活かして､高性能微小(5µm2) Micro-LEDピクセルアレイは､高収量製造可能でありSi CMOSドライバーとの集積ができる｡

AR/MRデバイスなど眼前デイスプレイは､高効率､超微細ピッチ(＜5µm) 赤､緑､青色ピクセルが同一材料プラットフォームに集積されている必要がある｡InGaN材料は､インジウム含有物を調整することで､全可視光範囲をカバーする光を効率的に発光できる｡高効率の青と緑のInGaN-LEDsは､すでに達成されているが､高効率赤色LEDsの成長は､まだ非常に挑戦的である｡InGaN QWsとGaNバッファ間の大きな格子ミスマッチに起因する明白な歪が活性層にあり､結晶品質が悪いからでる｡Enkrisは､同社の特許となっている歪エンジニアリングと偏光エンジニアリングを利用することでこれらの困難の克服に成功した｡独自のバンドギャップチューニング技術適用することで､Enkrisは､同社のGaN-on-Si LEDエピウエハ製品ポートフォリオを200㎜Si基板で､Full Color GaNRGBシリーズ製品(波長: 390～650nm)に広げている｡

波長の均一性は､Micro-LEDディスプレイには重要な要素｡Full Color GaN RGBシリーズは､200㎜ウエハ全体で優れた波長均一性を持つ｡さらに､GaN-on-Si ブルーLEDウエハは､300㎜までのサイズで利用でき､波長は2nm以下の標準偏差でかなりよい｡

Enkris Semiconductorは､200㎜エピウエハのFull Color GaNRGBシリーズをベースにしてピクセルサイズ2µm～50µmのRGB micro-LEDアレイも実証している｡高品質エピウエハにより､全てのピクセルは､各2µm2微小ピクセルでも輝く｡これは､マイクロディスプレイ採用には重要な促進剤である｡

Enkrisの創始者/CEO､Dr Kai Chengは､｢micro-LEDsのモノリシック集積には､3色全てを大型GaN-on-Si単一材料プラットフォームに統合することが重要である｡当社のFull Color GaNシリーズ製品は､AR/MR業界の要求を満たしている｡加えて､GaN-on-Siウエハサイズは､300㎜まで拡大可能であり､当社は2021年9月に1200V 300㎜ GaN-on-Siプラットフォームを発表した｡300㎜ GaN-on-Si LEDの新しいプラットフォームは､GaN電子デバイスとSiデバイス､GaN光デバイスの異種集積で高い有望性を示す｡Enkrisは､現在､ディスプレイ産業向けに真のRGB GaN-on-Siエピタキシャルソリューションを提供できる｡フルカラーマイクロディスプレイの開発を力づけ､メタバースの時代を受け容れることができる｣と話している｡

EnkrisのFull Color GaN製品シリーズは､GaN-on-SiとGaN-on-Sapphireウエハの両方で利用できる｡
(詳細は､http://en.enkris.com/)