レーザダイオードメーカーの品質制御に光学計測技術を採用

May, 10, 2017, Jena--計測技術スペシャリスト、Confovis GmbHは、詳細な計測データを使って、レーザダイオードメーカー、ルミックス(Lumics GmbH)のプロセスと製品品質に関する包括的な情報を提供する。
　ルミックス(Lumics GmbH)は、広範なサンプルを迅速、高信頼、非破壊的に解析することができる微細構造計測システムを必要としている。CLV150共焦点計測システムにより、マイクロメートル、ナノメートルレンジの表面特性が精密に特定でき、製造工程が大幅に改善され、製造されるダイオードの品質をより正確にモニタすることができる。これは、ダイオードの性能向上と耐用年数から利益を受けるエンドユーザにとってプラスになる。
　ConfoSurf CLV150により、ルミックスは微細構造が計測できる。特に構造寸法、表面特性と厚さを精密に計測でき、解析できる。その光学計測システムは、透明コーティングを適用する必要があるため、コーティングプロセスの最適化に特に有用である。特許となっている計測技術により、Confovisは、反射性材料や透明コーティングを高信頼に計測できる。ルミックスは、これによってコーティングの厚さやコーティング側壁の品質を容易に、非破壊的に解析することができる。
　3nm以下の垂直分解能は、VDI 2655に合致しており、CLV150は要求の厳しい計測作業向けの計測器であると言える。アプリケーションによって、共焦点計測プロセスは、広範な表面構造に高精度の計測と解析オプションを提供している。
　ルミックスは、Confovis計測システムを使うことで、例えばエッチングの深さとコーティングの厚さを容易に、素早くモニタする。計測されたパラメータは計算された目標値と比較される。これらは、基板のエピタキシーに強く依存しており、ある程度、個別に調整する必要がある。したがって、エッチングの深さ、コーティングの厚さをプロセスのステップ間に正確に、CLV150で計測することは有益である。
　計測システムは、非常に直観的な操作ができるので、装置のトレーニングも容易。計測データは、ConfoVIZ計測ソフトウエアで記録され、後にMountainsMap回折ソフトウエアに転送される。特に、エラー解析の手順が迅速かつ簡単に設定可能。Confovisは、開発段階の顧客および製造プロセスのモニタリングをする顧客をサポートする。
(詳細は、www.confovis.com)