高パルスエネルギーの 超小型・空冷UVナノ秒レーザー

May, 26, 2021--スペクトラ・フィジックス株式会社は、この度、超小型QスイッチレーザーExplorer One HPシリーズにおいて、従来比で3.5倍のパルスエネルギーを実現する最新モデル『Explorer® One™ HP HE 355-200』を発表した。
Explorer® One™ HP HE 355-200は、パルスエネルギー>200μJ、平均出力>4Wを両立し、パルスエネルギーの安定化制御機能を備えており、ディスプレイや太陽光発電における薄膜アブレーション用途、マイクロ抵抗やコンデンサのトリミング用途、および 医療部品、プラスチック、ガラス材料への高コントラストマーキングなどに最適なモデル。
新しいExplorer® One™ HP HE 355-200は、精密プロセスを求める産業アプリケーション向けに、世界最小クラスのサイズでありながら高度な制御機能を提供。定評のある既存のExplorer Oneシリーズに加え、今回の新モデルの登場により、MKS | Spectra-Physicsにおけるマイクロマシニング用レーザーマーケットにおけるリーダーシップをさらに確固たるものとしていく。
Explorer® One™ HP HE 355-200は、200 μJを超えるUVパルスエネルギー、15 ns未満のパルス幅、およびシングルショットから200kHzまでのユーザー調整可能な繰返し周波数を提供。高度なE-Track™アクティブパルスエネルギー制御は、要求される最適なプロセス実現のために、多彩な制御とパルスエネルギー調整を可能にする最適化アルゴリズムを備えている。
Explorer® One™ HP HE 355-200は、「It’s in the Box™」コンセプトのモデルとして、レーザーヘッドと電源が一体化されたプラットフォームに組まれ、コンパクトなデスクトップ機器などへの搭載を容易にする。実績のあるExplorer Oneプラットフォームをベースにした新モデルとして、過酷な条件下における24時間稼働を前提とした産業アプリケーション向けに設計されている。

■ 特徴
・UVパルスエネルギー>200μJ
・軽量4.2kg、完全空冷
・“It’s in the Box™”コンセプトデザインの採用により、世界最小クラスを実現
・簡便な操作性のソフトウェア、インターフェースとシンプルなデザイン
・E-TrackTMによるアクティブなエネルギー/パワー制御
・シングルショットから200kHzまで、パルスエネルギーコントロールが可能
・24時間365日稼働を基準とした堅牢で信頼性の高い設計

■ 仕様
波長：　355nm
レーザー媒体：　Nd:YAG
平均出力：　>4W @ 20kHz
パルスエネルギー：　>200μJ @ 20kHz
繰返し周波数：　シングルショット～200kHz
パルス幅 (FWHM)：　<15ns @ 20kHz、4W パルスエネルギーノイズ (rms)：　<2% サイズ (L×W×H)：　280×130×85.1mm 空間モード：　M2<1.3、TEM00 ビーム径：　1.3mm ± 0.33mm ビーム拡がり角：　0.5 ± 0.2mrad ■ アプリケーション ・LEDチップ製造プロセス ・OLEDディスプレイ製造プロセス ・ガラスの内部及び表面マーキング ・金属、プラスチックなどの精密マーキング ・ウェハーマーキング ・各種精密加工（穴開け、切断、金属箔など） ・UIDマーキングなど スペクトラ・フィジックス株式会社 営業部 TEL：03-3556-2708/06-4390-6770