ClassOne、ECDアプリケーションLabでShanghai Sinyangと提携

April, 17, 2015, Kalispell--半導体装置メーカー、クラスワンテクノロジー(ClassOne Technology)は、Shanghai Sinyang(上海新阳半导体材料股份有限公司)と、電気化学堆積(ECD)アプリケーション共同ラボ契約を結んだ。
　上海新阳は、ECD化学薬品の中国トップサプライヤであり、ClassOneの電気メッキ装置を購入し、中国市場でClassOneの装置をデモするためのサイトを提供する。中国におけるClassOneの代理店、SPMインタナショナル(SPM International Ltd.)も製品サポートとプロセスアシスタンスを提供する。
　「これからは、ユーザは1箇所で、ClassOneの電気メッキ装置の先進的パフォーマンスと上海新阳の電気メッキ薬品を見て、プロセスを評価することができる」とClassOne社長、Byron Exarcos氏はコメントしている。
　新阳は、ClassOneのSolstice LT Electroplating SystemとTrident Spin Rinse Dryer(SRD)を購入する。Solstice LTは、≤200㎜ウエファ向けに設計された2チャンバメッキ装置。新阳のアプリケーションでは、1つのチャンバを銅メッキ専用、第2のチャンバをニッケルメッキ用としTrident SRDによって両方のプロセスの流れが使用可能になる。このようにして、柔軟性が向上し、同時にサイクルタイムが大きく短縮され、プロセスの展開が合理的になる。この新しい装置は、上海の新阳研究ファシリティに導入される。5月後半にはライブデモンストレーションが予定されている。同研究所は、実質的に、金を除く全ての金属をメッキすることができる。また、比較ベンチマークのために全ての薬品とのクロスレファランスが可能になっている。
　ClassOneは、この外にSolstice S8、8チャンバ、完全自動電気メッキシステムも量産向けに提供している。これらの装置は特に適しているのは、MEMS、センサ、LEDs、RFなどのデバイスにとって重要であるウエファレベルパッケージング(WLP)、スルーシリコンビア(TSV)など。
(詳細は、www.classone.com)