Oxford Insturments、6インチInPウエハ処理用最先端完全自動化処理装置をCoherentに提供

December, 3, 2025, Oxford--化合物半導体業界向けの先進的なプラズマ処理ソリューションを提供するリーディングプロバイダOxford Instruments (OXIG)は、化合物半導体および高性能光ネットワークソリューションの世界的リーダーCoherent Corp.が主導する、業界初の完全自動化6インチインジウムリン化物(InP)ウェハ製造能力を支援する重要な役割を果たすことを発表した。

OXIGの最先端プラズマ処理装置は、テキサス州シャーマンとスウェーデンのヤルフェッラにある6インチInPファブの拡大というCoherentの画期的な成果の中心となっている。これらのファブは、AIデータセンタ、テレコム、センシングアプリケーションの進歩を牽引する重要な役割を果たすと見られている。Coherentの6インチウエハへの移行は、容量の大幅な増加、ダイコストの低減、ウエハあたり4倍以上のデバイス数の増加など、大きなメリットをもたらす見込みである。

OXIGは、完全自動化された高スループットの6インチInP処理装置を供給し、Coherentがこれらの顕著な生産性向上を実現できるようにしている。この先進機器は、AIインタコネクトや光通信の増大する需要に応えるための重要な要件である800Gから1.6T製品への移行をサポートするために設計されている。

「われわれは長年にわたり、データコム市場およびCoherentに対してInPプラズマエッチ装置のリーディングサプライヤーである。当社の技術は、品質、スループット、信頼性と優れたサービスと並行して開発し、生成AIアプリケーションのリリースに伴う現在のデバイス需要の変動に理想的な位置にある。市場拡大のこのエキサイティングな時期にCoherentと提携できることを大変嬉しく思い、革新的で価値あるプラズマ処理ソリューションの開発とリリースを今後も楽しみにしている」 Matt Kelly、Oxford Instrument Plasma Technologyマネージングディレクタは、コメントしている。

「Coherentの6インチInPウエハ製造への移行は、業界にとって変革的な節目を示している。OXIGのプラズマ処理における専門知識は、当社のシャーマンおよびヤルフェッラ工場が世界クラスの性能を達成する上で不可欠だった」と、Coherentの半導体デバイス担当エグゼクティブ・バイスプレジデント、Dr.Beck Masonは話している。「われわれは共に、より高速なネットワーク、より高効率、そして将来を定義する新たな接続アプリケーションを支援するためにInP技術を進化させている。」

OXIGとCoherentの共同努力は、次世代のInPオプトエレクトロニックデバイスの基盤を整える製造プラットフォームに結実した。これらのデバイスは、AIデータセンタやデータコムトランシーバから、消費者向け電子機器や自動車技術における高度なセンシングに至るまで、多様なアプリケーションにおいて重要な推進手段となっている。