OIPT､HLJにVCSEL製造用プラズマエッチ&デプシステム供給

October, 28, 2019, Hsin Chu--Oxford Instruments Plasma Technology(OIPT)は､台湾のHLJ Technology Co. Ltd.が6インチVCSELウエハ製造クラスタプラットフォームに､Oxford Instruments Inductively Coupled Plasma (ICP)のエッチ､Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)システムを選択したと発表した｡
　HLJは､国際的評価の高い､台湾のVCSEL製造パイオニアである｡先頃､HLJは､6インチVCSELウエハの量産ラインを構築した｡効率を強化し､製造リードタイム､製造能力と品質の制御性を促進することが目的｡社内ラインは､エピタキシャル設計､成長､ウエハプロセスおよび信頼性試験を組み込んでいる｡HLIは､世界のユーザーにワンストップVCSELデバイスショッピングサービスの提供に取り組んでいる｡
　Cobra ICPとPECVDプロセスソリューションは､VCSELsなど最先端のデバイス製造をサポートするように設計されている｡

(詳細は､https://www.oxinst.com/)