SPFL 532-40は、TimeShift™プログラマブルパルス制御機能を特徴とし、最適な加工を可能とするパルス繰り返しレートのダイナミックなオンザフライ調整機構を備えています。厳しい要求を求められる家電製造、クリーンエネルギー関連製造アプリケーションに最適です。
新しいSpectra-Physics SPFL 532-40レーザーは、比類のない多才なパフォーマンス、信頼性を備え、24時間稼働製造環境に高品質でスループットの加工を実現します。
この新しいレーザーはMKSにおける微細加工用レーザーマーケットにおけるリーダーシップをさらに確固たる位置づけとしていきます。
SPFL 532-40レーザーのTimeShiftプログラマブルパルス機能は、パルス幅、パルス間隔、およびバースト内のパルス数が調整可能でありフレキシブルなバーストモード動作を提供します。
シングルショットから最大2 MHzまで可変繰り返し周波数で動作し、回折限界に近い出力ビームにより、優れたマイクロマシニングを実現します。
脆性材料、太陽電池、半導体、PCボード、フラットパネルディスプレイ、リチウムイオンバッテリー、セラミック、微細金属部品の切断、スクライビング、穴あけに最適です。
新しいレーザーは、エンジン部は空冷、フレキシブルで簡便な装置への搭載を実現し、レーザーヘッドは水冷により、出力の安定性を高めています。
SPFL 532-40ラインは、要求度の高い24時間稼働製造アプリケーションでの運転を長期間、低コスト運用すべく設計およびテストされています。レーザーは6シグマ リーンの工場で製造され、出荷前に100%テストとバーンインが行われます。
■特徴
・>40 Wの平均出力、>180μJのパルスエネルギー
・TimeShiftプログラマブルバーストモード動作
- 3〜50 nsの調整可能なパルス幅
- バースト内の調整可能なパルス数
- 調整可能なパルス分離
・シングルショットから2 MHzまでの調整可能な繰り返しレート
・高いビーム品質(M2 <1.2)
・空冷エンジン、水冷ヘッド
■仕様
波長:532nm
平均出力:>40W
繰り返し周波数:0-2000kHz
パルス幅:3-50ns(preset values)
最大パルスエネルギー:180μJ
出力ビーム径:2.8±0.5mm
■アプリケーション
・太陽電池、シリコンのスクライビングと加工、PERC(パッシベーションエミッターリアコンタクト)を含む加工
・ガラス加工
・マーキング
・ファインマテリアル処理
・マイクロマシニング
・スクライビング
・薄膜パターニング
・金および銅の加工
・医療応用用途
・セキュリティと防衛
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