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Coherent Corp ウエハや積層 OLED の高速精密切断向けの 50W UV 産業用フェムト秒レーザを発表

June, 7, 2023--材料加工向け産業用レーザを牽引する Coherent Corp.(NYSE: COHR) は、本日、UV(紫外)発振、50W 出力の産業用フェムト秒レーザ (Monaco シリーズ)の最新モデルを発表しました。本モデルは、ウエハや積 層型 OLED ディスプレイの高速・大量切断用途向けに理想的です。
モバイルおよび次世代 IT デバイス用のウェハの溝加工やディスプレイスタックの精密切断などのアプリケ ーションの急速な成長により、材料を高速かつ高精度に加工できるより高出力のレーザツールのニーズが 高まっています。 新製品の Monaco 345-25-50 は、24 時間 365 日のフル稼働を実証している産業グレー ドのパフォーマンスを備えた初の 50 W 400 fs UV レーザであるため、完璧なアセンブリ フィットで、非常に 大量で、高精度の切断が可能となります。
「当社の新しい Monaco 345-25-50 は、大成功を収めた当社の Monaco 産業用レーザプラットフォームへ の最新の追加製品であり、市場で最小の 50 W フェムト秒レーザに相当します。」と北米マイクロエレクトロ ニクス & インスツルメンテーション担当上級副社長の Allan Ashmead 氏は述べています。
「Monaco の製品ラインは、製造現場で実証されており、世界中の工場に 800 以上のシステムが設置さ れ、24 時間年中無休で稼働、医療機器や最先端の消費者向けアプリケーション向けの OLED ディスプレ イを大量生産しています。」
Monaco 345-25-50 は、UV 内で 400 fs 未満のパルス幅で、最大 2 MHz の繰り返しレートで最大 25 μJ のエネルギーのパルスを供給します。 これには、パルス オン デマンド、可変パルス幅調整、可変繰り返し レート、柔軟なシーダー バースト モードなど、Monaco プラットフォームの標準機能がすべて含まれていま す。 コンパクトなサイズと真のシングルボックス設計に基づいて、ツールに簡単に統合できます。 Monaco 345-25-50 は、コヒレントの赤外(IR)およびグリーンレーザーの Monaco の製品ラインを拡張し、Photonics West 2023 でリリースされた新しい高出力および高エネルギーの Monaco 1035-150-150 赤外発振レーザ の最近の導入に続いています。Monaco シリーズは、炭化ケイ素(SiC)ウエハを含む、直接アブレーションを 通じて幅広いウエハ材料の切断が可能です。

CoherentCorpは、LaserWorldofPhotonics(ドイツ、ミュンヘン);開催期間:6月27-30日、 (stand B3.321) Laser Korea (ソウル) ;開催期間:7 月 5-7 日 (stand 4101)、及び Laser World of Photonics China(上海) ; 開催期間:7 月 11 -13 日(stand 8.1D240 )にて開催されるこれらのカンファレンス(展示会) にて、材料処理向けの差別化されたソリューションの広範なポートフォリオに最近追加された製品を出展致 します。
Coherent について
Coherent は、マテリアルからシステムまで、躍進的な技術を通じて、未来を定義するようマーケッ

トイノベータを支援しています。弊社は、産業、通信、電子機器、および計測市場向けの多様な応 用で、お客様の共感頂けるイノベーションを提供致します。コヒレントはペンシルバニア州サクソ ンバーグに本社を置き、世界中に研究開発、製造、販売、サービス、流通施設を持っています。 詳細についてはレーザソリューションと光工学技術のリーダー | Coherent をご覧ください。

【プレスリリース情報】
https://www.coherent.com/news/press-releases/50w-uv-femtosecond-monaco-laser

【Monaco シリーズの製品紹介】 https://www.coherent.com/ja/lasers/ultrashort-pulse/monaco

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