Coherent、高速CO2レーザビアドリル用Geフリー電気光学変調器発表

February, 4, 2026, Saxonburg--Coherent Corp.は、半導体産業向けのビアドリルアプリケーションにおけるCO₂レーザの高速スイッチング用に設計された新しい電気光学変調器(EOM)の発売を発表した。
新しいEOMは、最大300Wのレーザ出力でサブマイクロ秒単位のパルス発生が可能なゲルマニウムフリーソリューションを提供し、性能要求とサプライチェーンの制約の両方に対応している。

Coherent EOMは、市場で唯一、1µs未満のパルスを200ns未満の上昇・下降時間で生成できる、ゲルマニウムフリーの超高速スイッチングソリューションである。ゲルマニウムへの依存を排除しつつ、高速かつ高出力のハンドリングを実現することで、EOMはドリリングにおける精密レーザ変調の新たな基準を確立した。

ビアドリリングは、引き続き半導体製造の重要な分野であるが、ゲルマニウムの希少性により、従来の音響光学変調器(AOM)はますます高価になり入手困難になっている。CoherentのEOMは、従来のAOMベースソリューションよりも高い電力処理、短いパルス能力、より高速なスイッチング性能を実現するゲルマニウムフリーアーキテクチャでこの課題に対応している。システム設計と設置を簡素化し、EOMは直線アライメントを可能にし、従来のAOMベースの回折次ビーム角を排除する。現在、この市場向けの同等のEOM代替品は存在しない。

「Coherentは50年以上にわたりEOMを開発してきた。このEOMは、供給の安定性が極めて重要な時期において、より手頃な価格で超高速スイッチング性能を提供し、希少な資材への依存を排除するという重要な前進を示している。ゲルマニウムの希少性を代替品で補う能力は、市場にとって絶好のタイミングである」と、Coherentシニアバイスプレジデント、Steve Rummelはコメントしている。

CoherentはEOMのフル機能300Wバージョンを発売し、αプロトタイプテスト用の1,000Wバージョンも提供している。EOMはCoherent CO₂レーザやCoherent F-Thetaレンズとシームレスに組み合わされ、業界をリードする精度と性能で最大パルスエネルギーを効率的に供給できる。このリリースはCoherentのEOMプラットフォームのバージョン2.0を表し、前世代と比べて信頼性と使いやすさが向上している。