Oxford Instruments、Coherentが6インチInP化物デバイス製造で世界水準の性能達成を支援

November, 25, 2025, Oxford--Oxford Instrumentsは、6インチInPウエハ処理用の最先端完全自動化処理装置をCoherentに提供し、次世代AIアプリケーションを可能にする。

化合物半導体業界向けの先進的なプラズマ処理ソリューションを提供するリーディングプロバイダーであるオックスフォード・インスツルメンツ(OXIG)は、化合物半導体および高性能光ネットワークソリューションの世界的リーダーであるCoherent Corp.が主導する、業界初の完全自動化6インチインジウムリン化物(InP)ウエハ製造能力を支援する重要な役割を果たすと発表した。

OXIGの最先端プラズマ処理装置は、テキサス州シャーマンとスウェーデンのヤルフェッラにある6インチInPファブの拡大というCoherentの画期的な成果の中心となっている。これらのファブは、AIデータセンタ、通信、センシングアプリケーションの進歩を牽引する重要な役割を果たすことになる。Coherentの6インチウエハへの移行は、容量の大幅な増加、ダイコストの削減、ウエハあたりのデバイス数の4倍以上の増加など、大きな利点をもたらす見込みである。

OXIGは、完全自動化・高スループットの6インチInP処理装置を供給し、これによりCoherentがこれらの顕著な生産性向上を実現できる。この先進機器は、AIインタコネクトや光通信の増大する需要に対応するための800Gから1.6T製品への移行をサポートするために設計されている。

「われわれは長年にわたり、データコム市場、またCoherentに対してInPプラズマエッチ装置のリーディングサプライヤーを務めてきた。当社の技術は、品質、スループット、信頼性と優れたサービスと並行して開発し、生成AIアプリケーションのリリースに伴う現在のデバイス需要の変化を理想的にサポートできる立場にある。市場拡大のこのエキサイティングな時期にCoherentとパートナーシップを結べることを大変嬉しく思う。今後も革新的で価値あるプラズマ処理ソリューションの開発とリリースを続けていくことを楽しみにしている」とMatt Kelly、Oxford Instruments Plasma Technologyマネージングディレクタは、コメントしている。

「Coherentの6インチInPウエハ製造への移行は、業界にとって画期的な節目を示している。OXIGのプラズマ処理における専門知識は、当社のシャーマンおよびヤルフェラ工場が世界クラスの性能を達成する上で不可欠だった」と、Coherent半導体デバイス担当EVP、Dr.Beck Masonは話している。「われわれは共に、より高速なネットワーク、より高効率、そして接続の未来を定義する新たなアプリケーションを支援するためにInP技術を進化させている。」

OXIGとCoherentの共同努力は、次世代のInPオプトエレクトロニクスデバイスの基盤を築く製造プラットフォームに結実した。これらのデバイスは、AIデータセンタやデータコムトランシーバから、消費者向け電子機器や自動車技術における先進的なセンシングに至るまで、幅広いアプリケーションにおいて重要な推進力となっている。