フラウンホーファーIPMS、ウエハ検査でNextInと提携

January, 16, 2015, Dresden--フラウンホ―ファー・フォトニックマイクロシステムズ(Fraunhofer IPMS)は、韓国の半導体装置メーカー、NextInと提携した。
　一年提携の一環として、新しい欠陥検査システムを中央ナノエレクトロニクステクノロジーズ(CNT)のクリーンルームで評価する。装置は、構造化されたウエハ(200㎜と300㎜)視覚検知、自動分類、多様な欠陥タイプの評価に対応している。
　NextIn Aegis Iウエハ検査システムは、1つの装置で明視野イメージングと暗視野イメージングの統合を可能にしており、これにより半導体R&Dにおける異なるアプリケーションの数が大幅に増える。一旦評価が完了すると、NextInは2×nm技術ノード向けに柔軟な計測ツールを提供する。
　「研究機関として、この種の装置はFEoL、MoLおよびBEoLプロセスの研究開発にとって極めて重要であり、このプロジェクトはシナジー効果を生み出す。また、今回の提携はわれわれのアジアへのビジネス関係拡大に寄与するものである」とIPMS-CNTインタコネクトグループ長、Dr. Benjamin Uhligはコメントしている。
　CNTは300㎜ウエハ技術で半導体産業と応用科学との間のコラボレーション成功を推し進めていく。これによりメーカーは、産業レベルで新たな開発が実施できるようになる。