NIRレーザー光源からEUV(10-40nm)を分離する極端紫外用ダイクロイックフィルター

June, 13, 2022--エドモンド・オプティクス・ジャパン（株）は，極端紫外(EUV)用ダイクロイックフィルターの販売を開始した。この製品は、ビームセパレーターとも呼ばれ、高次高調波発生用にEUVとNIR波長間で高い分離効率を提供する。高損傷閾値の多層ARコーティング付きで設計され、ブリュースター角ビームセパレーターやEUVフィルターよりも高いレーザーパワーに対応する。高次高調波発生に加え、EUVリソグラフィー、EUVナノマシニング、プラズマ実験といったEUVアプリケーションを支えるシステムにも用いることができる。

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