Oxford Instruments､中国に初の量産VCSELファシリティ

September, 3, 2018, Yatton--Oxford Instruments Plasma Technology (OIPT)は､Sino-semicがTaizhou Cityの製造工場向けにOIPTのCobraプラズマエッチシステムを選択したと発表した｡
　Sino-semicは､顔認証用VCSELの初のオール中国人開発者､メーカーである｡同社によると､高性能誘導結合プラズマ(ICP)エッチCobraシステム導入の決め手は､プロセス能力と現地サポートであった｡
　Sino-semicの副部長､Li Junは､｢ICPエッチ装置にOxford Instrumentsを選定したのは、同社が先進的なプラズマ加工システムおよび無比のプロセスサポートを提供するからである｡これは､当社の製造スキームではわれわれにって掛け替えのないものである｣とコメントしている｡
　Cobraプロセスソリューションは､レーザ､RF､パワーおよび先進的LEDなどの先端デバイスアプリケーションをサポートするように設計されている｡
　OIPTのマネージングディレクタ､Richard Pollardは｢VCSELベースデバイスは､わくわくするような新たな成長フェーズに入りつつある｡Sino-semicのような先駆的なメーカーに当社のVCSEL加工ソリューションを提供するのは素晴らしいことである｣と話している｡