Oxford Instrumentsのプロセスソリューションで超高速光モジュール

June, 25, 2018, London--AMO GmbHの研究チームは､オクスフォードインスツルメンツ(Oxford Instruments) Plasma Technologyの製造ソリューションを使って､25Gb/s動作が可能なグラフェンベースの光デバイスを開発する｡これらのデバイスは､光変調データを今日のITシステムが解釈できる電気信号に変換する｡また､広帯域の超高速データストリームを可能にする次世代モバイル通信の重要技術になる可能性を持つ｡
　European Graphene Flagshipプロジェクト内で､アーヘンの非営利SME､AMO GmbHの研究チームが開発したデバイスが､データコム波長で動作する高速フォトディテクタに関して基準となることは確実である｡今年､バルセロナでのモバイル世界会議で､AMOの研究者はGraphene Flagshipプロジェクトの協力者とともに､チャネルあたり25Gb/sで動作する世界初のグラフェンデータ通信リンクをデモした｡したがって､AMOで開発されたディテクタは､130GHzまでのスピードに到達可能である｡
　デバイスは､ICP RIE、ALDおよびPECVD装置を含むOxford Instrumentsの製造ソリューションを装備したAMOの6インチデバイス製造パイロットラインで開発された｡Oxford Instrumentsは､量産と新デバイスR&Dの両方で､データコム市場分野に､信頼できるハイパフォーマンスソリューションを提供している｡ディテクタ製造ソリューションには､導波路製造､III-V/2D材料メサエッチング､グラフェン/2D/新材料デポジションが含まれる｡加えて､Oxford Instrumentsは､光データコムの重要コンポーネントであるInP端面発光レーザ､VCSELなどのデバイス向けに広範なソリューションも提供している｡
(詳細は､www.oxinst.com)