EUVフォトレジストパイオニア、Inpria、2350万ドル調達

July, 13, 2017, Corvallis--EUV向け高解像度金属酸化物フォトレジストのパイオニア、Inpriaは、シリーズB資金調達で2350万ドルを調達したと発表した。
　新規融資は、既存の投資家、Samsung Venturesと、現在の投資家ALIAD (Air Liquide’の投資部門), Applied Ventures (Applied Materials, Inc.の投資部門), およびIntel Capitalから調達。大手フォトレジストサプライヤ、JSR Corporationもこのラウンドに新規投資家として参加した。伸び続ける需要に支えられ、Inpriaは、調達資金を同社のパイロットファシリティ完成と商用生産開始に利用する。同社は、業界で最も先進的な製造環境に向けた統合プロセスの共同開発を通じて顧客との契約増をサポートするために人員を増やす予定である。
「Inpriaが開発したフォトレジストは画期的であり、有望である」とSamsung Ventures Americaのジェネラルマネージャー、Dong-Su Kim氏はコメントしている。
　酸化スズ分子で構成されたInpriaフォトレジストは、従来のポリマベースレジストのサイズのほんのわずかなビルディングブロックで解像度が著しく向上する。同時に、これらの材料はEUVフォトンを吸収する効率を4倍にすることができる、したがって感度が向上し、パタン変動が減少する。並ぶもののないエッチング選択性により、Inpriaのフォトレジストは、全般的な製造コスト低減のために製造方法をより簡素にし、プロセスウインドウを大きくできる。
(詳細は、www.inpria.com)