ALD成膜装置

September, 6, 2016--MEMSデバイスの生産において近年特に重要視されている成膜技術、ALD（アトミックレイヤーデポジション）成膜装置を紹介。ALDは既存のPVD，CVD、蒸着等の成膜技術よりいくつかの点で優れているため、急速に市場に浸透してきている。それは段差被覆性に優れており、膜厚が１原子層レベルで制御でき、膜厚分布が良く、バリア性が高く膜質が良く、低温（e.g.100℃）でも成膜できるなどである。
　PICOSUN JAPANはALD専業装置メーカーであるフィンランドPicosun社の日本法人。ラインナップは研究開発用から量産機、クラスター装置等幅広く、デバイス開発のサポートから量産まで幅広く対応している。

PICOSUN JAPAN(株)
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